Характеристики:

1) Скорость азотирования выше, цикл азотирования может быть сокращен соответствующим образом, а время ионного азотирования может быть сокращено до 1/3–2/3 времени газового азотирования.

2) Слой азотирования обладает низкой хрупкостью, а белый слой, образующийся на поверхности после плазменного азотирования, очень тонкий или вообще отсутствует. Кроме того, деформация, вызванная азотированием, невелика, что особенно подходит для прецизионных деталей сложной формы.

3) Экономия энергии и аммиака. Расход электроэнергии составляет 1/2–1/5 от расхода газового азотирования, а расход аммиака — 1/5–1/20 от расхода газового азотирования.

4) Легко реализовать локальное азотирование, при условии, что часть, не подлежащая азотированию, не дает свечения, неазотируемую часть легко защитить, а свечение можно предотвратить с помощью механического экранирования и железной пластины.

5) Ионная бомбардировка позволяет очистить поверхность и автоматически удалить пассивирующую плёнку. Нержавеющую и жаропрочную сталь можно азотировать напрямую, без предварительного удаления пассивирующей плёнки.

6) Можно контролировать структуру составного слоя, толщину и структуру инфильтрационного слоя.

7) Диапазон температур обработки широкий, и определенная толщина азотированного слоя может быть получена даже при температуре ниже 350 С.

8) Улучшены условия труда. Плазменное азотирование производится в экологически чистом режиме при очень низком давлении и с минимальным количеством отходящих газов. В качестве источников газа используются азот, водород и аммиак, что практически исключает образование вредных веществ.

9) Его можно применять для всех видов материалов, включая нержавеющую сталь, жаропрочную сталь с высокой температурой азотирования, инструментальную сталь и прецизионные детали с низкой температурой азотирования, в то время как низкотемпературное азотирование довольно сложно поддается газовому азотированию.