Характеристики:

1) Скорость азотирования выше, цикл азотирования может быть соответствующим образом сокращен, а время ионного азотирования может быть сокращено до 1/3-2/3 от времени газового азотирования.

2) Хрупкость азотированного слоя невелика, а белый слой, образующийся на поверхности после плазменного азотирования, очень тонкий или даже отсутствует. Кроме того, деформация, вызываемая азотированным слоем, невелика, что особенно подходит для прецизионных деталей сложной формы.

3) Можно сэкономить энергию и аммиак. Потребление электроэнергии составляет 1/2-1/5 от потребления при газовом азотировании, а потребление аммиака — 1/5-1/20 от потребления при газовом азотировании.

4) Локальное азотирование легко осуществить, если деталь, не подлежащая азотированию, не тлеет; неазотированную деталь легко защитить, а тлеть можно предотвратить с помощью механической защиты и железной пластины.

5) Ионная бомбардировка позволяет автоматически очищать поверхность и удалять пассивирующую пленку. Нержавеющую и жаропрочную сталь можно азотировать напрямую, без предварительного удаления пассивирующей пленки.

6) Можно контролировать структуру составного слоя, толщину и структуру инфильтрационного слоя.

7) Диапазон температур обработки широк, и определённую толщину азотированного слоя можно получить даже при температуре ниже 350 °C.

8) Условия труда улучшены. Экологически чистая обработка плазменным азотированием проводится при очень низком давлении с минимальным количеством отходящих газов. В качестве источников газа используются азот, водород и аммиак, и практически не образуются вредные вещества.

9) Его можно применять ко всем видам материалов, включая нержавеющую сталь, жаропрочную сталь с высокой температурой азотирования, инструментальную сталь и прецизионные детали с низкой температурой азотирования, в то время как газовое азотирование представляет собой довольно сложную задачу для низкотемпературного азотирования.